扩散制程方块电阻漂移排查指南

生产队队长

✦ 扩散制程方块电阻漂移排查指南 ✦

同一炉片子，方块电阻飘了5%——问题往往不在炉管本身。

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▪️【为什么】扩散炉做N+/P+结时，方阻漂移最让人头疼。老工程师的口诀是“先查气后查温，最后再看片子脏不脏”。
▪️【怎么办】
▸ 1. 检查POCl3鼓泡瓶液位与温度，源温波动1℃即可带来载气携带量数个百分点的漂移；
▸ 2. 核对石英舟装片位置，船位偏移会让片间温差改变，方阻片内变差；
▸ 3. 排查炉管氮气纯度与漏率，氧含量异常直接改变氧化速率，结深随之漂移。
▪️【划重点】扩散方阻漂移：七成在源与气，两成在装片位置，一成才是炉管本身。

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💬 你们遇到方阻漂移时，第一个动的是源瓶还是炉温？评论区聊聊