🌀 刻蚀均匀性突劣化：我从三个角落找回了良率

生产队队长

<div style="text-align:center;font-size:20px;font-weight:bold;color:#1a6fb5;">✦ 🌀 刻蚀均匀性突劣化：我从三个角落找回了良率 ✦</div>
<div style="text-align:center;color:#888;font-style:italic;font-size:14px;">刻蚀机的腔体里，藏着一门流体力学的必修课。</div>
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<p><b style="color:#1a6fb5;">▪️【为什么】</b>上周同批晶圆边缘刻蚀速率比中心快8%，CD均匀性报废。不是气体坏了，是静电卡盘边缘的沉积物积了一个月没清，边缘温控失准。腔体是活的，它一直在悄悄变化。</p>
<p><b style="color:#1a6fb5;">▪️【怎么办】</b></p>
<p>▸ 1. 按刻蚀片数设定<b>腔体干清周期</b>，别等参数报警才清，沉积物是渐变变量。</p><p>▸ 2. 每周验证<b>ESC温度多点实测</b>，与设定值偏差超5℃即触发维护。</p><p>▸ 3. 建立<b>中心-边缘速率比</b>趋势图，连续三炉漂移超3%就介入，别等失控。</p><p><b style="color:#1a6fb5;">▪️【划重点】</b><span style="color:#c0392b;font-weight:bold;">均匀性劣化是慢性病，趋势监控比事后救火便宜得多。</span></p>
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<div style="text-align:center;">💬 你的腔体清洁周期怎么定的？片数还是时间？评论区聊聊！</div>