🫧 栅氧异常处理记：氧化炉温度台阶的一次惊魂

生产队队长

<div style="text-align:center;font-size:20px;font-weight:bold;color:#1a6fb5;">✦ 🫧 栅氧异常处理记：氧化炉温度台阶的一次惊魂 ✦</div>
<div style="text-align:center;color:#888;font-style:italic;font-size:14px;">氧化层的每一埃厚度，都压在温度曲线的每一个台阶上。</div>
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<p><b style="color:#1a6fb5;">▪️【为什么】</b>栅氧厚度的WAT数据显示整批偏厚3Å，怀疑氧化炉。拆解温控曲线，发现二段台阶处热电偶老化，实际温度比设定低5℃，但较长的高温补偿让氧化反而过度。细节藏在曲线里。</p>
<p><b style="color:#1a6fb5;">▪️【怎么办】</b></p>
<p>▸ 1. 热电偶<b>按年度周期强制更换</b>，别等漂移报警，老化是渐进的。</p><p>▸ 2. 炉温曲线<b>每季度多点实测一次</b>，台阶段加密测温点。</p><p>▸ 3. 厚度监控从抽检改为<b>首末片全测</b>，炉内首尾差异大于1Å即复查。</p><p><b style="color:#1a6fb5;">▪️【划重点】</b><span style="color:#c0392b;font-weight:bold;">氧化炉的稳定靠的是把测温当日常，而不是当救火。</span></p>
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<div style="text-align:center;">💬 你们的氧化厚度CpK多少？热电偶多久换一次？评论区晒数据！</div>