量检测
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IC量测设备用于工艺控制、良率管理,检测要求快速、准确、非破坏。IC量测在发展过程中,在尺寸微缩、复杂3D、新型材料方面面临各类技术难点,面对诸如存储、CIS、化合物半导体等不同半导体检测等多种需求不断升级。IC量测设备的技术类别包括探针显微镜、扫描/透射电镜、光学显微镜、椭偏/散射仪等,技术发展方向包括延续现有的非破坏测量技术,电镜方面推进并行电子束技术,散射仪向EUV、X射线延伸以缩小波长,并联合多种测量手段和机器学习实现混合测量等。
  • 半导体光谱仪的工作原理
    半导体光谱仪是一种利用半导体材料的光电特性来分析物质光谱的仪器,其工作原理可分为以下几个关键步骤:[hr]1. ‌光信号输入与分光‌ [*]‌光源与样品作用‌:待测光(如透射光、反射光或荧光)通过样品后,携带样品的吸收、发射或散射光谱信息。 [*]‌分光系统‌:利用光栅、棱镜或干涉仪等光学元件,将复合光分解为不同 ...
    02097 admin 发表于 2025-3-25 量检测
  • 半导体AOI设备的检查原理及算法逻辑
    半导体AOI设备的检查原理及算法逻辑 一、检查原理 [*]光学成像与反射信号采集‌ AOI设备通过光源(如LED阵列)照射被测半导体表面,利用光学透镜和图像传感器(CCD或CMOS)捕获反射光信号,将其转化为数字化的灰阶或RGB色彩数据‌。光源设计直接影响成像质量,例如多角度光源可增强表面缺陷的对比度‌。 [*]图像处理与标准 ...
    01964 admin 发表于 2025-3-25 量检测
  • 光刻对准套刻精度(Overlay)设备的工作原理及算法逻辑
    光刻对准套刻精度(Overlay)设备的工作原理及算法逻辑在半导体制造中,‌套刻精度(Overlay)‌是衡量光刻工艺质量的核心指标之一,直接决定了芯片多层结构的对准精度。随着芯片制程进入纳米级(如3nm、2nm),套刻误差需控制在亚纳米级别,这对光刻设备的对准系统和算法提出了极高要求。本文将深入解析光刻对准设备的工作 ...
    02307 admin 发表于 2025-3-24 量检测
  • 半导体红外显微镜的测试原理及作用
    半导体红外显微镜的测试原理及作用一、测试原理:用“红外光”当“透视眼”半导体红外显微镜的核心原理有点像医学中的X光透视,但它用的是‌红外光‌(一种不可见光),专门针对半导体材料(如硅、砷化镓等)的“透明特性”工作。 [*]为什么用红外光?‌ [*]半导体材料(比如最常见的硅)对可见光是不透明的(像一块挡光的 ...
    02650 admin 发表于 2025-3-18 量检测
  • 半导体方阻仪:给材料做“导电体检”的精密工具
    半导体方阻仪:给材料做“导电体检”的精密工具半导体方阻仪就像给半导体材料做体检的"心电图仪",它能快速检测出材料导电能力的强弱。要理解它的工作原理,我们可以从生活中常见的体检场景来类比。一、什么是材料导电"成绩单"?方阻仪测量的"方块电阻"(Sheet Resistance),相当于材料的"导电成绩单"。想象在手机屏幕的透 ...
    02471 admin 发表于 2025-3-18 量检测
  • 光之眼的进化:揭秘半导体芯片AOI设备的“火眼金睛”
    在半导体芯片的微观世界里,一粒0.1微米的尘埃足以让价值百万的晶圆报废。当人类肉眼分辨率极限停留在100微米时,‌AOI(自动光学检测)设备‌正以纳米级精度全天候扫描芯片表面,成为半导体制造中不可或缺的“质量守门人”。[hr]一、为什么芯片制造离不开AOI?在指甲盖大小的芯片上集成数百亿晶体管,需经历1000多道工序。 ...
    02642 admin 发表于 2025-3-17 量检测
  • 椭偏仪的工作原理
    ‌椭偏仪的工作原理基于椭圆偏振光在材料表面的反射。 椭偏仪通过测量反射光的偏振态变化来分析材料的性质。它利用椭圆偏振光在材料表面的反射,将反射光分成两个分量:P分量和S分量,分别代表平行和垂直于入射面的线性偏振光。通过测量这两个分量的反射系数,可以推断出材料的厚度、‌折射率等光学特性。‌ 具体来说,椭 ...
    36705 admin 发表于 2024-7-26 量检测
  • 🔍 ‌SEM:芯片界的“福尔摩斯”如何玩转纳米侦探游戏?
    🔍 ‌SEM:芯片界的“福尔摩斯”如何玩转纳米侦探游戏?‌ [hr]‌1. 工作原理:电子束的“蹦迪现场”‌🎵 ‌BGM:电子disco‌ 想象SEM是个“夜店DJ”,把电子加速到嗨翻天的速度(‌⚡电子束‌),然后用电磁透镜(‌🔎超级聚光灯‌)把它们聚焦成比头发细10万倍的“光剑”,对着芯片表面一顿扫描! 👉 ‌信号收集‌:电子 ...
    03823 admin 发表于 2025-3-17 量检测
  • 分光光度计在镀膜中的应用
    分光光度计在镀膜中的应用 ‌分光光度计在镀膜中的应用主要包括测量镀膜的透过率、反射率和吸收率‌。 分光光度计通过测量光通过镀膜后的透射和反射强度,可以计算出这些参数,从而评估镀膜的质量和性能‌。 分光光度计的工作原理 分光光度计的基本工作原理基于朗伯-比尔定律,即光的吸光度与介质中吸光物质的浓度及光通 ...
    07356 admin 发表于 2025-1-17 量检测
  • 台阶仪/轮廓仪工作原理
    1.台阶仪测量原理: 当触针沿被测表面轻轻滑过时,由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时,还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。传感器输出的电信号经测量电桥后,输出与触针偏离平衡位置的位移成正比的调幅信号。经放大与相敏整流后,可将位移信号从调幅信号中解调出来,得到放大了的与触针位 ...
    17284 admin 发表于 2024-7-31 量检测
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