低温泵的再生

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低温泵的再生‌是指通过一定的操作手段，去除凝结在低温泵冷头上的固态气体，恢复其正常工作状态的过程。低温泵广泛应用于半导体、集成电路和空间技术等领域，通过冷凝、吸附和捕集气体来实现真空环境。然而，由于低温泵采用冷头吸附，工作一段时间后，冷头表面会被气体凝结的固体所覆盖，导致表面温度升高，气体吸附作用减弱甚至停止，从而失去抽气效果。因此，低温泵需要定期进行再生操作。

再生方法

• ‌自然升温法‌：关闭制冷机后，利用泵壁自身的热量使真空泵缓慢升温。当真空泵内的压力升到对流换热起作用时，升温速率加快，直至达到稳定的升温值。这种方法操作简单，不需要额外设备和能源，但再生时间长，通常需要5～6小时‌。
• ‌放气升温法‌：关闭制冷机后，打开放气阀，向低温泵内放入清洁干燥的空气。这些空气会迅速加热低温泵的冷板，使冷板上的气体快速解吸。这种方法再生时间较短，但需要额外的设备和能源，并且可能对低温泵内部结构造成一定冲击‌。
• ‌电加热法‌：在低温泵的一二级冷板上加装电加热器，通过电加热使冷板快速升温，从而缩短再生时间。这种方法适用于需要快速再生的应用场景，但需要额外的电加热设备和能源‌。
  

再生条件和判断方法
再生的起始条件因低温泵的应用场合而异。对于连续抽气过程，一般只要满足以下两个条件中的一个，低温泵就需要再生：

• 低温泵在无其他附加热负荷时，二级冷头温度超过20K或一级冷头温度超过130K。
• 高真空阀门关闭5分钟后，泵内压强在1×10^-4Pa以上‌。
  

通过定期再生操作，可以有效延长低温泵的使用寿命并确保其稳定运行。

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由于低温泵冷凝和吸附了真空室里释放出来的气体，低温泵抽气能力最终会因对气体的冷凝和吸附能力饱和而下降为零并停止抽气。当这种情况发生时就必须让低温泵释放出它已经冷凝和吸附的气体，此过程即为低温泵的再生。

对于抽除含有氧气或氢气等这些有爆炸性或自然性气体的泵，不能用电再生方法。
在再生时不要让制冷机温度高于 70 度，过高的温度可能损坏制冷机。
建议在规定的时间内进行再生，而不要等到低温泵吸附气体饱和了再再生。再生期间会放出大量的水蒸汽，为了避免水蒸汽凝结在前级泵中，再生期间在开动前级泵时要打开前级泵的预抽阀。
下面是粗略估计低温泵运行多少时间需要再生的方法。
T=C x 760 / (S x P x 3600)
T－低温泵再生前的运行时间
C－低温泵容量
S－低温泵的抽速
P－主要靠低温泵工作时的运行压力