（讨论）电子束蒸镀（E-beam Evaporation）中金属颗粒异常

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电子束蒸镀作为一种高精度薄膜沉积技术，广泛应用于半导体、光学镀膜及纳米材料领域。然而，工艺过程中金属颗粒的异常现象（如尺寸不均、形状不规则或杂质污染）常导致薄膜性能下降。